산업환경

산업환경 - 반도체 부품 세척 실증결과

  • 1대 선 실증 후 구매, 실증 후 추가납품 (2대)
  • 초음파 단일 대비 초미세기포수의 세척력이 우수하다.
  • 초미세기포와 마이크로버블의 동시 생성력은 오염물질 세척분리력이 뛰어남 입증.
  • 초미세기포의 공정 중 OH라디칼의 살균 소독 세척력 증명
  • 산업분야의 세척분야외 악취, 살균 소독필요 분야에 접목가능

  • 오염 조건 : 네임팬 30mm / 컴프레셔 오일
  • 세척 조건 : DI-Water 40L / 계면활성제 : 40g
  • 세척 조건 : DI-Water 40L / 계면활성제 : 40g
경과시간 초음파 나노버블 나노버블 + 초음파
시편
10분 경과
30분 경과

반도체 제조장비 부속품 세척 연구진행결과

  • DI-water만으로 세척할 경우 세척의 소요 시간이 매우 길어집니다.
  • DI-Water만으로 세척할 경우 약 12시간 이상 진행시 오염물이 세척이 됩니다. 약 16시간 정도 진행하였을때 60%정도의 오염물이 세척이 되었습니다. 나노버블이 있지
    않은 상태에선 오염물 세척이 되지 않았습니다.
  • DI-water + 계면활성제의 경우
  • 나노버블이 오염물에 흡착되는 시간이 필요한것으로 보여집니다. 세척 시작후 10분 후의 결과값은 크게 변화가 없으나 30분정도 시간이 소요된 후 세척력은 매우 뛰어납니다.
    초음파세척기와 비교시초기 세척력은 떨어지나 일정 시간 이후는 초음파보다 뛰어난 세척력을 보여집니다.
  • 나노버블 + 초음파
  • 나노버블 + 초음파 세척 진행시 세척력이 더 올라간것을 확인할수 있었습니다.
    나노버블 단일 세척으로 진행시 30분정도 소요되었던 효과를 초음파와 같이 진행하면 약 10분만에 볼수 있습니다.
  • 결론
  • 1. 일정 시간이 지나면 초음파 단일 대비 나노버블이 세척력이 뛰어난것으로 판단하고 있습니다.
  • 2. 나노버블에 유동성을 부여하면 세척력은 매우 뛰어납니다.

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